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原帖
2021-07-01 09:24
國內首條12英寸先進傳感器研發(fā)中試線成功通線國內首條12英寸先進傳感器研發(fā)中試線成功通線
該中試線以國產設備為主，具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學氣相沉積、原子層沉積、化學機械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進傳感器和晶圓級3D集成技術的核心工藝能力，同時為國產裝備提供驗證平臺，加速先進傳感器產業(yè)鏈國產化，實現(xiàn)自主可控。 |
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